Các học viên tham gia Khóa đào tạo chuyên sâu về lĩnh vực chế tạo linh kiện bán dẫn, cảm biến MEMS năm 2027 tại SHTP Labs
Khác với những giờ lý thuyết, một ngày thực hành của lớp MEMS bắt đầu bằng sự tuân thủ nghiêm ngặt các quy chuẩn an toàn và kiểm soát bụi hạt. Tại đây, các học viên được trực tiếp tham gia vào toàn bộ chuỗi quy trình công nghệ chế tạo vi cấu trúc (Front-End) ngay trên phiến bán dẫn Silicon (wafer).
Bắt đầu bằng quy trình hóa học RCA để loại tạp chất vi mô trên wafer, tiếp nối là các công đoạn lắng đọng màng mỏng cách điện và bán dẫn trên hệ thiết bị bốc bay, phún xạ (PVD) và phản ứng pha hơi hóa học (PECVD).
|
|
|
Các học viên thực hành công đoạn làm sạch bề mặt wafer bằng quy trình RCA1, RCA2
|
Tiếp theo là quy trình Quang khắc (Photolithography). Dưới ánh đèn vàng đặc trưng của khu vực Class 100, học viên thao tác phủ chất nhạy sáng (photoresist), phơi sáng qua mặt nạ quang học để định hình những chi tiết vi cơ có kích thước chỉ vài micromet.
|
|
|
Thực hành quy trình quang khắc (lithography)
|
Ăn mòn & giải phóng cấu trúc. Trực tiếp vận hành hệ thống ăn mòn khô Plasma/ICP-RIE hiện đại để tạo rãnh sâu và giải phóng cấu trúc màng vi nhiệt điện (thermopile) với độ chính xác và tính dị hướng gần như tuyệt đối.
|
|
|
Cầu trúc linh kiện thermopile sau một vài công đoạn
|
Không dừng lại ở việc tạo ra linh kiện, các học viên sẽ được hướng dẫn đo kiểm đặc tính vi cơ – điện tử, đồng thời tìm hiểu công nghệ đóng gói bán dẫn như cắt chip (dicing), hàn dây vi mạch (wire bonding) đến thiết kế mạch xử lý tín hiệu.
|
|
|
Kiểm tra kích thước của lớp phủ điện cực
|
“Được tự tay đưa phiến silicon qua từng buồng chân không, quan sát từng đường mạch vi mô dần thành hình dưới kính hiển vi điện tử ngay tại phòng sạch của SHTP Labs là một trải nghiệm thực tế vô cùng quý giá, giúp chúng tôi rút ngắn tối đa khoảng cách giữa lý thuyết và chế tạo thực thụ,” một học viên hào hứng chia sẻ sau buổi thực hành.
Chương trình đào tạo chuyên sâu về lĩnh vực chế tạo linh kiện bán dẫn, cảm biến MEMS năm 2027 có nội dung tập trung vào một loại thiết bị MEMS cụ thể là linh kiện thermopile ứng dụng trong cảm biến đo lưu lượng khí, đi từ khâu thiết kế, chế tạo cho đến ứng dụng (minh họa) của thiết bị này. Giảng viên chủ yếu là các chuyên gia trong ngành công nghiệp MEMS. Học viên là giảng viên, nghiên cứu viên thuộc các trường, viện có chuyên môn liên quan tới vi mạch bán dẫn trên địa bàn Thành phố Hồ Chí Minh. Thông qua các buổi thực hành trực tiếp tại phòng sạch sẽ giúp trang bị kỹ năng chuyên môn sâu cho học viên. Ngoài ra, khóa học còn khẳng định vai trò cầu nối của SHTP Labs trong chiến lược phát triển nguồn nhân lực chất lượng cao cho ngành công nghiệp vi mạch – bán dẫn và vi hệ thống tại thành phố Hồ Chí Minh.
Nguồn: Huỳnh Trọng Phát – PTN. Công nghệ Bán dẫn (SHTPLBAS)